五氟化锑，化学式为 SbF₅，通常主要由三氟化锑粉和氟在化学反应釜或大型化学反应釜中反应制得，反应需要最低 HV 级电压（480 EU/t）发生，未超频状态下每生成 1,000 mB 五氟化锑耗时 5 秒。反应方程式：

SbF₃ + F₂ = SbF₅

由五氟化锑、三氯化磷（PCl₃）和氢氟酸（HF）在化学反应釜或大型化学反应釜中发生进一步反应，即可制得单氟磷酸（HPF₆），并能够进一步参与间苯二甲酰双（二乙基硫脲基）六氟磷酸铼-钅黑-铊（ReHsTlC₆₀PN₁₂H₈₄S₆O₁₂F₆）的生产流程之中；该反应同时重新析出五氟化锑的制取原料三氟化锑粉以供循环利用。

由五氟化锑和氢氟酸在大型化学反应釜中化合，生成氟锑酸（H₂SbF₇），其具有多种用途。并且，大多数由氟锑酸参与的反应都将会重新析出三氟化锑以供循环利用，或是其副产物经过电解后的产物中含有五氟化锑，以此实现循环利用，例如氟锑酸二氙合金（XeAuSbF₆）。