单氟磷酸，化学式为 HPF₆，由五氟化锑、三氯化磷和氢氟酸在化学反应釜或大型化学反应釜中反应制得，反应需要最低 IV 级电压（7,680 EU/t）发生，未超频状态下每生成 1,000 mB 单氟磷酸耗时 14 秒。反应方程式：

SbF₅ + PCl₃ + HF = HPF₆ + SbCl₃

单氟磷酸可在大型化学反应釜中参与进一步反应，用于制取间苯二甲酰双（二乙基硫脲基）六氟磷酸铼-钅黑-铊（ReHsTlC₆₀PN₁₂H₈₄S₆O₁₂F₆），可作为UMV超导基粉的成分之一来使用。