四氯化氙，化学式为 XeCl₄，由三氟化碘-129在基础衰变室中经过处理后形成，需要最低 IV 级电压（7,680 EU/t）执行，未超频状态下每生成 1,000 mB 四氯化氙耗时 1,250 秒，且同时返还制取三氟化碘-129所需的碘-129粉以供循环利用。

四氯化氙可在化学反应釜或大型化学反应釜中与三溴化镆（McBr₃）发生进一步反应，用于制取三溴氯镆-三氯氙复合物（XeCl₃McBr₃Cl），作为精混合五卤化镆的成分之一五溴化镆生产流程的中间产物出现。