三氟化氯，化学式为 ClF₃，由氯和氟在化学反应釜或大型化学反应釜中直接化合形成，反应需要最低 EV 级电压（1,920 EU/t）发生，未超频状态下每生成 1,000 mB 三氟化氯耗时 4 秒。反应方程式：

3 F₂ + Cl₂ = 2 ClF₃

三氟化氯可在化学反应釜或大型化学反应釜中与三氟化镆（McF₃）发生进一步反应，用于制取五氟化镆（McF₅），其能够作为精混合五卤化镆的成分之一来与其它成分在大型搅拌机中混合制成。该反应同时将生成副产物一氟化氯（ClF）以供回收利用。