一氟化氯，化学式为 ClF，作为利用三氟化镆和三氟化氯在化学反应釜或大型化学反应釜中反应，制取五氟化镆的同时作为反应副产物生成，反应需要最低 ZPM 级电压（122,880 EU/t）发生，未超频状态下每生成 6 个五氟化镆耗时 8.9 秒，并另外生成 1,000 mB 一氟化氯。反应方程式：

McF₃ + ClF₃ = ClF + McF₅

一氟化氯可在电解机中以最低 MV 级电压（120 EU/t）分解，回收氯和氟以供循环利用，未超频状态下每分解 1,000 mB 一氟化氯耗时 10 秒。除此以外，一氟化氯无其它实际用途。