三甲基硅烷，化学式为 C₃H₁₀Si，由三甲基氯硅烷和氢化钠在化学反应釜或大型化学反应釜中反应制得，反应需要最低 EV 级电压（1,920 EU/t）发生，每生产 1,000 mB 三甲基硅烷耗时 8.5 秒。化学方程式：

(CH₃)₃SiCl + NaH = C₃H₁₀Si + NaCl

在大型化学反应釜中，三甲基硅烷可用于制取硅纳米粒子、甲氧基苯甲醛（C₈H₈O₂）以及碳氟化合物（HCHB₁₁F₁₁），以分别参与纳米硅阴极、甲氧基苯亚甲基丁基苯胺以及质子化富勒烯筛分基质的生产流程之中。在上述反应中，后两者反应将会同时返还三甲基氯硅烷以供循环利用。