氧五氟铌酸盐，化学式为 H₂NbOF₅，由氟铌酸、氟钽酸或铌-钽氟化混合物与铌-钽分离混合物在大型化学反应釜中反应制得，反应需要最低 IV 级电压（7,680 EU/t），单次反应耗时 6.3 秒，同时生成等量的七氟钽酸盐（H₂TaF₇）以供进一步处理，作为铌铁矿粉、钽铁矿粉或锡石粉处理流程的中间产物出现。

在化学反应釜或大型化学反应釜中向氧五氟铌酸盐加入氟化钾粉（KF），即会反应析出氟铌酸钾（K₂NbF₇）粉末以供进一步处理。