锆氯化反应残渣作为由锆石粉和氯气在化学反应釜中反应，制备锆-铪氯化物的副产物生成，可以在化学脱水机中处理，回收四氯化硅，同时有 75% 的概率回收钴粉，以及 2% 的概率回收稀土。