三氟乙酸乙酯，化学式为 C₄H₅F₃O₂ ，由乙醇、氢氟酸和乙硫酮在大型化学反应釜中反应制得，化学方程式：

3 HF + C₂H₃OCl + C₂H₆O = C₄H₅F₃O₂ + 3 H₂ + HCl

三氟乙酸乙酯在化学反应釜中可用于制取三氟乙酸对磷酯（C₈H₅F₃O₂S）。