氧化锗，化学式为 GeO₂，通常由硫化锗和氧气在工业高炉中反应制成，同时生成二氧化硫。化学方程式：

GeS₂ + 3 O₂ =(2,500 K)= GeO₂ + 2 SO₂

也可由氯化锗在化学脱水机中反应而成，实际反应中氯化锗本身含水，因此反应无需消耗水。化学方程式：

GeCl₄ + 2 H₂O = GeO₂ + 4 HCl

在大型化学反应釜中，氯化锗可用于参与锗酸铋的生产；也可以利用氢气在工业高炉中高温还原氧化锗。得到纯净的锗粉，同时氢气转化成水。