氧化钽，化学式为 Ta₂O₅ ，主要由钽粉、氯和水在化学反应釜中反应得到。化学方程式：

2 Ta + 5 Cl₂ + 5 H₂O = Ta₂O₅ + 10 HCl

也可作为铌铁矿粉或烧绿石粉的处理流程中的产物之一出现。由氟钽酸钾在化学反应釜中溶解于水中反应析出，化学方程式：

2 K₂TaF₇ + 9 H₂O = Ta₂O₅ + 14 HF + 4 KOH

在搅拌机中，氧化钽可作为电介质反射镜形成混合物的成分之一，与其它成分混合而成。氧化钽也可以作为在工业高炉中高温生产钪铅钽酸盐（Pb(ScTa)O₃）所需的反应物之一使用。