注意：本条目与射频腔（组件）名称相同，如果你想查看组件条目请单击前文链接。
每个加速器都必须有的部分，用以用射频电场加速带电粒子，必须以八个相同的射频腔为一组围绕一个束流方块形成一个环。两个环之间不能相邻。
| 射频腔种类 | 加速电压（单位：kV） | 功率效率 | 热量产出（单位：H/t） | 基础功率（单位：RF/t） | 最高运行温度（单位：K） |
| 铜 | 100 | 50% | 100 | 250 | 350 |
| 二硼化镁 | 500 | 80% | 200 | 1000 | 39 |
| 铌锡 | 1000 | 90% | 400 | 2000 | 18 |
| 铌钛 | 2000 | 95% | 800 | 4000 | 10 |
| 铋锶钙铜氧化物（BSCCO） | 4000 | 99% | 1600 | 8000 | 104 |
